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ULVAC愛發(fā)科NB系列羅茨真空泵

產(chǎn)品參數(shù)/ Product parameter

ULVAC愛發(fā)科NB系列羅茨真空泵
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用,可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。
特長
結(jié)凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn)
選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。
用途
照明、電子、光學、半導體
鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
分析儀器、檢漏設(shè)備,CO2激光設(shè)備
                      機 型 NB100A NB300A NB600A NB1200A
項 目
抽氣速率*3
   m3/h(L/min)
50Hz 95(1580) 280(4670) 500(8330) 1000(16667)
60Hz 115(1920) 330(5500) 600(10000) 1200(20000)
大吸入壓力      Pa
(連續(xù)運轉(zhuǎn)時)      
50Hz 1.3×103 1.2×103 1.3×103
60Hz 1.3×103 9.3×102 1.1×103
大允許壓力差    Pa
(排出壓力-吸入壓力)   
50Hz 8.0×103 4.0×103 7.3×103
60Hz 6.7×103 3.3×103 6.0×103
極限壓力          Pa*1 4.0×10‐1 6.7×10‐1
標準粗抽泵 GLD-N280
VDN301
VDN401 VSN1501
VSN2401
VSN1501
VSN2401
電    機           kW (極) *2 *4 0.4(2) 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2)
V-Hz 380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使 用 油 ULVOIL® R-4
所需油量          L 0.35 0.70 1.50 1.90
冷卻水量          L/min*6 空 冷 2 *5 2 3
進水壓力          MPa   0.3  
進出水壓差        MPa 0.05 0.1
重    量          kg 24 49 77.5 110
吸氣口徑 (JIS B 2290) 相當 VG50 相當 VG80 相當VG80 相當VG100
排氣口徑 (JIS B 2290) 相當VF50 相當VF80 相當VF80 相當VF80
             
*1  用皮拉尼真空計測量的值,如用麥氏真空計測量,則為4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A則為6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。
*2  電源為AC380V、50Hz、三相。
*3  隨粗抽泵的性能而變化,表中為標準泵的組合的數(shù)據(jù)。
*4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。
*5  對于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上進行連續(xù)運轉(zhuǎn)必須用水冷。 
*6  冷卻水溫為5~30℃。

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