概述
EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| EH250 | EH500 | EH1200 | EH2600 | EH4200 |
排量（工作容積） | 310 m3h-1 / 185 ft3min-1 | 505 m3h-1 / 300 ft3min-1 | 1195 m3h-1 / 715 ft3min-1 | 2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1 | 4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1 |
使用前級泵時的有效抽速 | 240 m3h-1 / 141 ft3min-1 | 350 m3h-1 / 206 ft3min-1 | 840 m3h-1 / 495 ft3min-1 | 1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1 | 3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1 |
泵的壓力差 | 0-180 mbar/0-140 Torr | 0-110 mbar/0-83 Torr | 0-90 mbar/0-68 Torr | 0-80 mbar/0-60 Torr | 0-60 mbar / 0-45 Torr |
進(jìn)氣口連接 | ISO63 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO250 |
出口連接 | ISO40 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO100 |
轉(zhuǎn)速 | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm |
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
出口壓力 | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr |
推薦的前級泵 | GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 | GV80，E2M80 | GV160、GV250、 | GV250、GV400、 | GV400、E2M275 |
電機(jī)功率 |
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碳?xì)浠衔?/p> | 2.2 kW / 3 hp | 2.2 kW/3 hp | 3 kW/4 hp | 11 kW/15 hp | 11 kW/15 hp |
PFPE | 1.5 kW / 2 hp | 1.5 kW/2 hp | 3 kW/4 hp | 7.5 kW/10 hp | 11 kW/15 hp |
ATEX | 2.2 kW | 2.2 kW | 3 kW | 11 kW | 11 kW |
防爆 | 3 hp | 3 hp | 4 hp | 15 hp | 15 hp |
環(huán)境溫度范圍 |
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工作 | 5 至 40°C/40 至 104°F | 5 至 40°C/40 至 104°F | 5 至 40°C/40 至 104°F | 5 至 40°C/40 至 104°F | 5 至 40°C/40 至 104°F |
存儲 | -10 至 80°C/14 至 176°F | -10 至 80°C/14 至 176°F | -10 至 80°C/14 至 176°F | -10 至 80°C/14 至 176°F | -10 至 80°C/14 至 176°F |
工作濕度 | 90% RH | 90% RH | 90% RH | 90% RH | 90% RH |
推薦用油 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 |
油容量 |
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齒輪箱 |
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| 1.25 l/1.3 qt | 3.5 l/3.3 qt | 3.5 l/3.3 qt |
聯(lián)軸器蓋 | 1.5 l/1.6 qt | 1.5 l/1.6 qt | 1.5 l/1.6 qt | 6.5 l/7 qt | 6.5 l/7 qt |
軸封儲油器 | 0.125 l/0.25 qt | 0.125 l/0.25 qt | 0.125 l/0.25 qt | 1.5 l/1.4 qt | 1.5 l/1.4 qt |
重量 | 61 kg/134 lb | 74 kg/163 lb | 74 kg/163 lb | 308 kg/679 lb | 400 kg / 882 lb |
